Имплантация ионов металлов в диэлектрические подложки с помощью низковольтного вакуумно-искрового разряда : ВКР бакалавра : направление 03.03.02 "Физика" : направленность "Солнечно-земная физика"

Иваненко М. А. ; Горбунов С. П. (рук.)