Вид издания:
Учебное пособие
Год:
2009
Издательство:
Изд.-во Иркут. гос. ун-та
ББК:
32.85:34я73
УДК:
621.37/.39
Специализации:
Относится к ВУЗу(ам):
Каталоги:
Рецензенты:
Коновалов Н. П.,
Щербаченко Л. А.
Место публикации:
Иркутск
Ключевые слова:
интегральные схемы, микроэлектроника, оборудование, осаждение веществ, ионно-плазменное осаждение, удаление веществ, модифицирование веществ, литографические процессы, сборка, герметизация, интенсификация, наноэлектроника
Стационарная ссылка:
https://isu.bookonlime.ru/node/56521
В учебном пособии последовательно описана технология производства интегральных схем. Приведены процессы обработки, нанесения, удаления и модификации вещества. Описаны особенности проведения операций, сборки и монтажа кристаллов, присоединения электродных выводов и герметизации.
Предназначено для студентов 4–5-х курсов специальности "Твердотельная электроника и микроэлектроника", "Радиофизика и радиоэлектроника", а также магистрантов и аспирантов.