Пособие содержит методические материалы для лабораторного практикума, знакомящего студентов с некоторыми приложениями плазменных методов создания наноразмерных объектов. В каждой главе кратко представлены теоретические сведения о методах применения ионно-плазменных технологий, дано описание лабораторных работ по основам вакуумной техники методам создания наноструктурных пленок на поверхности подложки и исследования их характеристик, методикам измерения параметров плазмы в технологических системах, а также ионно-плазменным методам модификации наноразмерных слоев в кристаллах. Обозначены цели, задачи и порядок выполнения работ, составлены контрольные вопросы и упражнения.
Пособие разработано в соответствии с основной образовательной программой подготовки бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 03.03.02 "Физика".
Предназначено для поддержки дисциплин "Основы нанотехнологий" и "Плазменные технологии".