Введение в ионно-плазменные технологии создания поверхностных наноразмерных структур : учеб.-метод. пособие

Введение в ионно-плазменные технологии создания поверхностных наноразмерных структур
Только для организаций
Автор: 
Паперный В. Л., Черных А. А., Шипилова О. И.
Вид издания: 
Учебно-методическое пособие
Год: 
2023
Издательство: 
Изд-во Иркут. гос. ун-та
ISSN/ISBN: 
978-5-9624-2120-9
ББК: 
22.33Зя7
УДК: 
533.93(07)
Специализации: 
Рецензенты:
Раджабов Е. А., Иванов Н. А.
Ключевые слова:
наноразмерные структуры, ионно-плазменные технологии, нанотехнологии, вакуумная техника,тонкие пленки
Стационарная ссылка:
https://isu.bookonlime.ru/node/70847
Место публикации:
Иркутск

Пособие содержит методические материалы для лабораторного практикума, знакомящего студентов с некоторыми приложениями плазменных методов создания наноразмерных объектов. В каждой главе кратко представлены теоретические сведения о методах применения ионно-плазменных технологий, дано описание лабораторных работ по основам вакуумной техники методам создания наноструктурных пленок на поверхности подложки и исследования их характеристик, методикам измерения параметров плазмы в технологических системах, а также ионно-плазменным методам модификации наноразмерных слоев в кристаллах. Обозначены цели, задачи и порядок выполнения работ, составлены контрольные вопросы и упражнения.

Пособие разработано в соответствии с основной образовательной программой подготовки бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 03.03.02 "Физика".

Предназначено для поддержки дисциплин "Основы нанотехнологий" и "Плазменные  технологии".