Технологии материалов для микро- и наноэлектроники : учеб. пособие

Автор: Скоробогатова Л. А.; Зубрицкий С. М.; Петров А. Л.; Семенов А. Л.
Вид издания: Учебное пособие
Год: 2009
Издательство: Изд.-во Иркут. гос. ун-та
Тематики: Физика
Место издания: Иркутск
ББК: 32.85:34я73
УДК: 621.37/.39
Относится к ВУЗу(ам): Иркутский государственный университет
Каталоги: Учебная литература
Основной раздел каталога: Учебная литература
Ключевые слова: интегральные схемы, микроэлектроника, оборудование, осаждение веществ, ионно-плазменное осаждение, удаление веществ, модифицирование веществ, литографические процессы, сборка, герметизация, интенсификация, наноэлектроника
Рецензенты: Коновалов Н. П., Щербаченко Л. А.

В учебном пособии последовательно описана технология производства интегральных схем. Приведены процессы обработки, нанесения, удаления и модификации вещества. Описаны особенности проведения операций, сборки и монтажа кристаллов, присоединения электродных выводов и герметизации.

Предназначено для студентов 4–5-х курсов специальности "Твердотельная электроника и микроэлектроника", "Радиофизика и радиоэлектроника", а также магистрантов и аспирантов.