Пособие содержит методические материалы для лабораторного практикума, знакомящего студентов с некоторыми приложениями плазменных методов для создания наноразмерных объектов. Представлены лабораторные работы по темам "Измерение и получение вакуума", "Создание центров окраски в щелочно-галоидных кристаллах", "Получение наноструктурных плёнок методом вакуумного термохимического напыления" и "Плазмохимическая обработка поверхности в СВЧ-реакторе". В каждой лабораторной работе приведены теоретические сведения, цели и задачи, порядок выполнения работы, контрольные вопросы и упражнения.

Пособие разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров и магистров по направлениям 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" и 03.04.02 "Физика". Предназначено для поддержки дисциплин "Основы нанотехнологий" и "Плазменные технологии".